水下能谱仪是一种分析物质元素的仪器，常与扫描电镜或者透射电镜联用，在真空室下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据特征x射线的波长，定性与半定量分析元素周期表中B-U的元素，EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析，以及特定区域之point、linescan、mapping分析。

 

　　水下能谱仪测试的时候经常测到有碳，氧或者是其他一些样品原本没有的元素，样品在存在，制样，转运的过程中和空气接触，样品表面会随机吸附空气中的一些低沸点VOC，包括烷烃类，芳烃类，烯烃类，卤烃类，酯类，醛类和酮类等物质，当吸附量达到EDS检测下*候，就会探测器检测到。我们最常见到的便是碳氧元素。

 

　　如果测到一些样品不该还有的金属元素，比如铝，铜等，我就要考虑是否来自于测试的载具，有时候可能会由于样品的太薄了，测试时候检测到了基底的元素。如果测到一些稀土元素，比如镧，锕，则有可能是因为噪音的峰太强了，仪器出现一些误判，这种情况直接把此类元素删除即可。

 

　　如果测试含硫的物质，出现钼，测试含铟的物质，出现钾，测试含溴的物质，出现铝。此时我们要考虑是否是遇到了重叠峰的现象。这种情况是因为某些元素的某些线系临街激发能相差太小了，导致结果出现误判。解决方法是增加大加速电压（该元素临界激发能的2-3倍），激发某些元素在其他线系的能谱峰：如Al（K1.49）和Br（L1.48）接近，可以增大电压至30kV，通过Br（K11.9）的能谱峰判定是否有Br。