水下γ能谱仪是一种分析物质元素的仪器，常与扫描电镜或者透射电镜联用，在真空室下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据特征x射线的波长，定性与半定量分析元素周期表中B－U的元素，EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析，以及特定区域之point、linescan、mapping分析。

 

　　水下γ能谱仪工作时，当X射线光子进入检测器后，在Si（Li）晶体内激发出一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的平均能量ε是一定的（在低温下平均为3.8ev），而由一个X射线光子造成的空穴对的数目为N＝△E／ε，因此，入射X射线光子的能量越高，N就越大。

 

　　水下γ能谱仪利用加在晶体两端的偏压收集电子空穴对，经过前置放大器转换成电流脉冲，电流脉冲的高度取决于N的大小。电流脉冲经过主放大器转换成电压脉冲进入多道脉冲高度分析器，脉冲高度分析器按高度把脉冲分类进行计数，这样就可以描出一张X射线按能量大小分布的图谱。

 

　　水下γ能谱仪分析数据注意事项：

 

　　1、主要用于元素的定性分析；

 

　　2、能谱仪能够分析原子序数大于5的元素，波谱仪可以分析原子序数从4～92之间的所有元素；

 

　　3、EDS的分析方式有点分析、线分析和面分析；

 

　　4、点分析得到一点的所有元素；

 

　　5、线分析每次对一条线做一种元素分析，多次扫描得到所有元素的线分布；

 

　　6、面分析对一个面内的所有元素分析，测得元素含量是测量面范围的平均值；

 

　　7、EDS做微区分析时所激发的体积为10um3左右；

 

　　8、EDS常常与SEM结合使用，可对目标部位进行点、线、面形貌扫描和成分分析；

 

　　9、检测极限：0.1％，只能做半定量分析，精度一般在1％到5％，深度一般为1～5微米。